| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURE DEVICE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06252094(A) |
申请公布日期 |
1994.09.09 |
| 申请号 |
JP19930032116 |
申请日期 |
1993.02.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
HASEBE ARIHIRO;MIYAKE AKIHIRO;KAWAI KAZUHIKO;KATO SEIICHI |
| 分类号 |
C23C16/46;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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