发明名称 |
用于复制精细结构的母模及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供了包括金属支撑层(1)及精细结构图形(4)的母模(10)及其制造方法,所述精细结构图形由玻璃材料或陶瓷材料形成,其中所述图形支撑层由具有相对较低磨削速度的第一材料形成,并且所述精细结构图形由第二材料层形成,所述第二材料的磨削速度高于所述图形支撑层材料的磨削速度。 |
申请公布号 |
CN100573785C |
申请公布日期 |
2009.12.23 |
申请号 |
CN200480021741.2 |
申请日期 |
2004.07.21 |
申请人 |
3M创新有限公司 |
发明人 |
杉元崇纪;托德·R·威廉姆斯;帕德里克·S·麦圭尔 |
分类号 |
H01J9/24(2006.01)I;H01J17/16(2006.01)I;H01J17/49(2006.01)I;B29C33/38(2006.01)I |
主分类号 |
H01J9/24(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 |
代理人 |
丁业平;张天舒 |
主权项 |
1.一种母模,包括:由金属材料形成的支撑层,和由所述支撑层支撑的精细结构图形,所述精细结构图形由玻璃或陶瓷材料形成,其中所述支撑层由磨削速度比所述精细结构图形材料的磨削速度低的材料形成,并且所述支撑层形成所述精细结构图形的底部。 |
地址 |
美国明尼苏达州 |