| 发明名称 |
DIFFUSER NOZZLE FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20090051469(A) |
申请公布日期 |
2009.05.22 |
| 申请号 |
KR20070117872 |
申请日期 |
2007.11.19 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD. |
发明人 |
KIM, CHANGSUNG SEAN |
| 分类号 |
C23C16/455;C23C16/00;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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