一种有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法

摘要

本发明公开了一种有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法，首先，采用常规方法，将金属荫罩浸入装有专用有机清洗溶剂的超声清洗槽内超声清洗，然后将金属荫罩再浸入装有清洁清洗溶剂的超声清洗槽内进行二次超声清洗，取出用清洁气流吹干金属荫罩表面的溶剂。将金属荫罩放入设有臭氧发生器的真空干燥设备内，或者放入设有等离子发生器的真空干燥设备内，抽真空至1KPa以下，充入干燥空气或10～50KPa的氧气，利用臭氧发生器产生臭氧，或使氧气反应生成臭氧或离子化生成氧离子，彻底去除金属荫罩经使用、清洗后残留的有机物。

主权项

1. 一种有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法，其特征在于，包括下述步骤：(1)采用常规方法，将金属荫罩浸入装有专用有机清洗溶剂的超声清洗槽内，经过超声清洗10～30分钟，当金属荫罩开窗部分附着的有机物膜层溶解和脱落后，取出金属荫罩；(2)将金属荫罩再浸入装有步骤(1)有机清洗溶剂的超声清洗槽内进行二次清洗，经超声清洗10～30分钟后取出，用清洁气流吹干金属荫罩表面的溶剂。(3)将金属荫罩放入设有臭氧发生器的真空干燥设备内，抽真空至1KPa以下，充入干燥空气或10～50KPa的氧气，利用臭氧发生器产生臭氧；或者将金属荫罩放入设有等离子发生器的真空干燥设备内，充入干燥空气或10～50KPa的氧气，使氧气反应生成臭氧或离子化生成氧离子，彻底去除金属荫罩经使用、清洗后残留的有机物。