发明名称 | 具有微管的微器件 | ||
摘要 | 本发明涉及具有微管的微器件,其能够用作用于液体的超快冷却或加热的热交换器。使用波形花纹金属层面与热可降解聚合物(TDP)的组合使得能够制造仅由单层金属阻挡层材料分开的微管紧凑系统。由于两个分开的微管之间的小的距离(即阻挡层的厚度),能够实现在微管中循环的两流体之间的高效热传递。 | ||
申请公布号 | CN101421843A | 申请公布日期 | 2009.04.29 |
申请号 | CN200780013033.8 | 申请日期 | 2007.04.03 |
申请人 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 发明人 | R·胡夫曼 |
分类号 | H01L23/473(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/473(2006.01)I |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 蹇 炜 |
主权项 | 1、用于制造微器件的方法,包括步骤:-设置基底(100);-设置和构造第一一次性层(110);-设置至少一个阻挡层(120、140);-设置第二一次性层(130);-通过去除所述第一一次性层(110),构建第一微管(1);以及-通过选择性地去除所述第二一次性层(130),构建第二微管(2)。 | ||
地址 | 荷兰艾恩德霍芬 |