发明名称 具有微管的微器件
摘要 本发明涉及具有微管的微器件,其能够用作用于液体的超快冷却或加热的热交换器。使用波形花纹金属层面与热可降解聚合物(TDP)的组合使得能够制造仅由单层金属阻挡层材料分开的微管紧凑系统。由于两个分开的微管之间的小的距离(即阻挡层的厚度),能够实现在微管中循环的两流体之间的高效热传递。
申请公布号 CN101421843A 申请公布日期 2009.04.29
申请号 CN200780013033.8 申请日期 2007.04.03
申请人 皇家飞利浦电子股份有限公司 发明人 R·胡夫曼
分类号 H01L23/473(2006.01)I 主分类号 H01L23/473(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 蹇 炜
主权项 1、用于制造微器件的方法,包括步骤:-设置基底(100);-设置和构造第一一次性层(110);-设置至少一个阻挡层(120、140);-设置第二一次性层(130);-通过去除所述第一一次性层(110),构建第一微管(1);以及-通过选择性地去除所述第二一次性层(130),构建第二微管(2)。
地址 荷兰艾恩德霍芬