晶片位置教示方法和教示用夹具

摘要

本发明的目的是提供一种不依靠作业者的视觉就能高精度自动教示半导体晶片位置的方法，以及一种供该方法使用的教示用夹具。为此，本发明使用设置在机器人的晶片夹持部5的前端的第1个第1透过式传感器(6)来检测教示用夹具(11)。并且，教示用夹具(11)由具有与半导体晶片相同外径的大圆板部(12)和与大圆板部(12)共用中心轴的小圆板部(13)构成。并且，在晶片夹持部(5)上装有第2透过式传感器(18)以检测教示用夹具(21)。并且，把第2透过式传感器(18)装载在传感器用夹具(15)上，并使该第2透过式传感器与晶片夹持部(5)之间拆装自如。

主权项

1.一种晶片位置教示方法，该方法用于向在收纳容器和处理装置之间或者在处理装置相互之间进行半导体晶片搬送的机器人教示所述半导体晶片的位置，其特征在于，把教示用夹具设置在所述收纳容器或者所述处理装置的设置半导体晶片的位置，使用设置在所述机器人手的前端的第1透过式传感器来检测所述教示用夹具，其中机器人手具有3个自由度：绕机器人手的支柱部的中心轴旋转的θ轴动作；在其支柱部的半径方向伸缩的R轴动作；以及使支柱部升降的Z轴动作，所述晶片位置教示方法包括如下步骤：步骤1：使机器人手移动到教示用夹具的上面；步骤2：使机器人手下降，使用第1透过式传感器来检测教示用夹具的上面，记录此时的机器人手的Z轴的坐标值Z1，而且，使机器人手下降，使用第1透过式传感器来检测教示用夹具的下面，记录此时的机器人手的Z轴的坐标值Z2；步骤3：把机器人手的Z轴的坐标值设为(Z1+Z2)/2；步骤4：进行R轴动作，使机器人手缩回到第1透过式传感器检测不出教示用夹具的位置；步骤5：进行θ轴动作，改变机器人手的方向，然后进行R轴动作，使机器人手慢慢接近教示用夹具，记录第1透过式传感器最初检测出教示用夹具时的θ轴和R轴的坐标；步骤6：重复步骤4和步骤5，使机器人手从不同的方向接近教示用夹具，求出第1透过式传感器最初检测出教示用夹具时的θ轴和R轴的多组坐标，根据这些值，求出并记录教示用夹具的中心位置，作为所述半导体晶片的位置。