发明名称 NEW METHODOLOGIES TO REDUCE PROCESS SENSITIVITY TO THE CHAMBER CONDITION
摘要
申请公布号 KR100851454(B1) 申请公布日期 2008.08.08
申请号 KR20027000438 申请日期 2002.01.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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