| 发明名称 | 液晶显示器制造设备的湿式处理槽及流体供应系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种液晶显示器制造设备的流体供应系统及湿式处理槽。流体供应系统包括一整合储存槽的处理槽，其将流体收集槽与流体储存槽整合。此小尺寸的储存槽个别提供至每一个处理槽上。此外，湿式处理槽的主体由表面披覆有化学物抵抗材质的耐久材质所制成。因此，湿式处理单元皆可被广泛地使用，不会因为不同型态的化学流体而有所影响。 | ||
| 申请公布号 | CN100394554C | 申请公布日期 | 2008.06.11 |
| 申请号 | CN03122213.7 | 申请日期 | 2003.04.21 |
| 申请人 | 显像制造服务株式会社 | 发明人 | 朴庸硕;金相镐;李硕周 |
| 分类号 | H01L21/302(2006.01);G02F1/13(2006.01);G03F7/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/302(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王学强 |
| 主权项 | 1.一种液晶显示器制造设备的流体供应系统，其特征在于，包括：一整合储存槽的处理槽，包括一处理单元及一储存槽，且该储存槽整合于该处理槽中；一流体供应单元，供应附着于该处理单元中的复数个基板上、并随着该些基板一并排至该整合储存槽的处理槽外的流体；一泵，将储存于该整合储存槽的处理槽的中流体以及从该流体供应单元所供应的流体提供至该处理单元；以及复数个管线，将包含有该处理单元的该整合储存槽的处理槽以及该流体供应单元与该泵连接。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||