| 发明名称 | 铜合金薄膜、铜合金溅射靶和平板显示器 | ||
| 摘要 | 一种铜合金薄膜，含有Fe和P以及余量基本上是Cu，其中Fe和P的含量满足所有下列条件(1)～(3)，并且，其中，在200～500℃下热处理1～120分钟之后，Fe<SUB>2</SUB>P析出在Cu的晶界上：1.4N<SUB>Fe</SUB>+8N<SUB>P</SUB>＜1.3 (1)；N<SUB>Fe</SUB>+48N<SUB>P</SUB>＞1.0 (2)；12N<SUB>Fe</SUB>+N<SUB>P</SUB>＞0.5 (3)。其中，N<SUB>Fe</SUB>表示Fe的含量(原子百分比)；N<SUB>P</SUB>表示P的含量(原子百分比)。 | ||
| 申请公布号 | CN100392505C | 申请公布日期 | 2008.06.04 |
| 申请号 | CN200510118731.7 | 申请日期 | 2005.10.27 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所 | 发明人 | 钉宫敏洋;富久胜文;高木胜寿;中井淳一 |
| 分类号 | G02F1/1343(2006.01);C22C9/00(2006.01) | 主分类号 | G02F1/1343(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 陈长会 |
| 主权项 | 1.一种含有Fe和P以及余量基本上是Cu的铜合金薄膜，其特征在于，Fe和P的各含量同时满足下式(1)～(3)：1.4NFe+8NP＜1.3 (1)NFe+48NP＞1.0 (2)12NFe+NP＞0.5 (3)式中，NFe表示Fe的原子百分比含量；NP表示P的原子百分比含量。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||