| 摘要 |
本发明提供一种用于设计并程式化一晶圆测试系统中一具有板上可程式化控制器之探针卡之方法。对引入该可程式化控制器之考量包括于一CAD晶圆布局及探针卡设计过程中。该CAD设计进一步载入至诸如一FPGA之可程式化控制器中，以将其程式化成：（1）控制信号至特定IC之方向，甚至在测试过程期间（2）产生测试向量信号以提供至IC，及（3）接收测试信号并处理来自所接收信号之测试结果。在某些实施例中，提供仅烧机测试以限制所需之测试系统电路从而可藉助该探针卡上之一可程式化控制器，消除或显着减少用测试设备中探针卡外部之测试设备。 |
