X射线发生装置

摘要

本发明的X射线发生装置设置有监视从靶发生的X射线状态的X射线监视器。因此，可实时地监视X射线的状态，将X射线状态维持一定。X射线监视器配置在从第一射出窗射出的X射线路径外。因而在从第一射出窗向被检查物照射X射线之际，X射线监视器不妨碍第一射出窗和被检查物之间接近。据此可取得放大率高的X射线图像。

主权项

1.一种X射线发生装置，其特征在于，具有：放出电子束的电子枪；X射线产生用靶，其配置成使来自所述电子枪的电子束入射；第一射出窗，其使根据所述电子束的入射而从所述靶产生的X射线透过；X射线监视器，其接受来自所述靶的X射线，并监视该X射线的状态；和第二射出窗，其配置在与从所述靶向所述第一射出窗的X射线路径不同的X射线路径上，且使来自所述靶的X射线透过；所述X射线监视器配置在从所述第一射出窗射出的X射线路径之外，并接受透过所述第二射出窗的X射线；所述第二射出窗是使所述电子枪的端子贯通并保持的芯柱板。