微流体泵及阀结构及制造方法

摘要

具有大致上刚性膜片的塑胶微射流构造，该膜片系在一个放松状态与一个致动状态之间致动，在放松状态中，膜片系坐落抵着基材的表面，且在致动状态中，膜片系被移动远离基材。如将可以从以下说明看出的，形成为具有这种膜片的微射流构造提供了制造的容易性及坚固的系统，以及立即可以制造之像是阀及泵的元件。