矽制弹簧电极及异向性导电片

摘要

提供一种即使更微细或更狭小的节距之电极亦可对应之异向性导电片和其所使用之电极。由单晶体矽材料藉异向性蚀刻形成弯曲板弹簧形状之构件，在其表面镀金而制造矽制弹簧电极1。此一弹簧电极1被嵌入固定设于矽氧橡胶片的贯通孔。