发明名称 非晶FeCuNbCrSiB薄膜螺线管微电感器件
摘要 一种微电子技术领域的非晶FeCuNbCrSiB薄膜螺线管微电感器件,包括:衬底、引脚、线圈、磁芯、聚酰亚胺绝缘材料,闭合的矩形磁芯上对称绕制两组相连的三维立体螺线管线圈,线圈以衬底为基础,由底层线圈、顶层线圈通过连接导体连接形成,线圈的两端连接引脚,线圈的底层线圈、顶层线圈、连接导体均通过聚酰亚胺绝缘材料与磁芯隔开,所述的磁芯材料为非晶FeCuNbCrSiB薄膜。本发明解决了线圈的立体绕线和层间的绝缘问题及高深宽比的电镀问题,使得微电感器件的高频性能大大提高,具有广泛的用途。
申请公布号 CN1812012A 申请公布日期 2006.08.02
申请号 CN200610023899.4 申请日期 2006.02.16
申请人 上海交通大学 发明人 周勇;丁文
分类号 H01F17/04(2006.01);H01F27/28(2006.01);H01F10/13(2006.01);B81B7/00(2006.01) 主分类号 H01F17/04(2006.01)
代理机构 上海交达专利事务所 代理人 王锡麟;王桂忠
主权项 1、一种非晶FeCuNbCrSiB薄膜螺线管微电感器件,包括:衬底(1)、引脚(2)、线圈(3)、磁芯(4)、聚酰亚胺绝缘材料(6),其特征在于:所述的磁芯(4)材料为非晶FeCuNbCrSiB薄膜,磁芯(4)为闭合的矩形,磁芯(4)上对称绕制两组相连的三维立体螺线管线圈(3),线圈(3)以衬底(1)为基础,由底层线圈(5)、顶层线圈(8)通过连接导体(7)连接形成,线圈(3)的两端连接引脚(2),线圈(3)的底层线圈(5)、顶层线圈(8)、连接导体(7)均通过聚酰亚胺绝缘材料(6)与磁芯(4)隔开。
地址 200240上海市闵行区东川路800号