热处理装置与热处理制程之调整方法

摘要

一种热处理制程之调整方法，包括下列数个步骤。首先，将一加热灯及其反射罩配置于一晶圆上，以量测并调整单一之加热灯对于晶圆之热通量分布。之后，将多个加热灯所组成之一加热灯组配置于一晶圆上，其中这些加热灯系以轴对称之多个圈环的阵列排列。接着，调整加热灯组与晶圆之间的位置，使得加热灯组之阵列中心的轴线与晶圆之中心的轴线之间具有水平之一偏移向量，并调整这些加热灯之加热功率。之后，让晶圆与加热灯组沿着平行晶圆之中心轴线作相对旋转，以接收来自加热灯组之均匀的热通量。