| 发明名称 | 平板显示器生产设备基板支撑装置 | ||
| 摘要 | 本发明是关于平板显示器生产设备的基板支撑装置，由基板支座、升降枢轴组成，其特征如下，基板支座(36)上有多个上端呈倒锥形柱状的垂直通孔，并水平放在玻璃基板上(40)。升降枢轴(32)插在上述通孔，形成多个升降枢轴，其上端与上述通孔上端一致，呈倒锥形柱状，从而控制基板(40)从基板支座(36)上抬起或降至基板支座(36)上，还能上下移动。如本发明所述，升降枢轴(32)呈非条状的锥形柱状，紧贴着基板支座(36)，因此可以防止升降枢轴(32)部位(A)和无升降枢轴的部位产生温差及电位差。这样基板(40)不会产生斑点，均匀地成膜或者蚀刻(etching)。 | ||
| 申请公布号 | CN1245747C | 申请公布日期 | 2006.03.15 |
| 申请号 | CN200310116858.6 | 申请日期 | 2003.12.01 |
| 申请人 | 爱德牌工程有限公司 | 发明人 | 许光虎;崔浚泳;李哲源 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈英 |
| 主权项 | 1、一种平板显示器生产设备基板支撑装置，包括基板支座和升降枢轴，所述基板支座上可水平放置玻璃基板，其特征是，所述基板支座在垂直方向上形成多个柱状垂直通孔，每个该垂直通孔的上端的一段为呈倒锥形的孔；所述升降枢轴插在上述垂直通孔中，从而在所述基板支座上形成多个升降枢轴，其能上下移动，以便把上述基板从上述基板支座抬起或者放在上述基板支座上，该升降枢轴的上端具有一个呈倒锥形柱状端头，其与上述垂直通孔上端相匹配。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||