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发明名称 WAFER TRANSFER APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050087361(A) 申请公布日期 2005.08.31
申请号 KR20040013123 申请日期 2004.02.26
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 JUNG, YONG BUM;OH, CHANG SUK
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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