| 主权项 |
1.一种图案检出方法,属于使用由形成有配线图案,且载置具有对准标记的基板的载置台,及摄影上述基板的所定部位的摄影部,及处理来自上述摄影部的影像信号的信号处理部,及控制上述载置台的动作的控制部所构成的图案测定装置的图案检出方法,其特征为具有:藉由上述摄影部摄影成为基准的第一对准标记的步骤:登录上述被摄影的第一对准标记的大略整体的对准标记与上述被摄影的第一对准标记的至少一部分的对准标记的步骤;藉由上述摄影部摄影须测定的基板的第二对准标记的步骤;以及从上述被摄影的第二对准标记,依据上述被登录的第一对准标记的大略整体的对准标记与上述被摄影的第一对准标记的至少一部分的对准标记的任一对准标记,检出与上述第二对准标记的位置的步骤。2.如申请专利范围第1项所述的图案检出方法,其中,又具有:上述摄影部摄影与成为上述基准的第一对准标记不相同位置的第三对准标记的步骤,及登录上述被摄影的第三对准标记的大略整体的对准标记与上述被摄影的第三对准标记的至少一部分的对准标记的步骤。3.如申请专利范围第2项所述的图案检出方法,其中,又具有:上述摄影部摄影与上述须测定的基板的第二对准标记不相同位置的第四对准标记的步骤,及从上述第四对准标记,依据上述被登录的第三对准标记的大略整体的对准标记与上述被摄影的第三对准标记的至少一部分的对准标记,检出上述第四对准标记的位置的步骤。4.如申请专利范围第3项所述的图案检出方法,其中,上述信号处理部是依据上述第二与第四对准标记的位置测定结果,运算上述须测定的基板的偏置与倾斜,同时依据上述偏置与倾斜来修正上述被检出的第二与第四对准标记的位置座标。5.如申请专利范围第1项所述的图案检出方法,其中,从上述被摄影的第二对准标记,依据上述被登录的第一对准标记的大略整体的对准标记与上述被摄影的第一对准标记的至少一部的对准标记的任一对准标记,在检查上述第二对准标记的位置的步骤中,在上述第一对准标记的任一对准标记也未检出上述第二对准标记时,上述信号处理部是输出误差资讯。6.如申请专利范围第1项所述的图案检出方法,其中,从上述被摄影的第二对准标记,依据上述被登录的第一对准标记的大略整体的对准标记与上述被摄影的第一对准标记的至少一部的对准标记的任一对准标记,测定上述第二对准标记的位置的步骤,是使用灰色标度图案选配进行者。7.如申请专利范围第1项所述的图案检出方法,其中,上述摄影部是又具有不同倍率的第一光学系统与第二光学系统;上述对准标记是以上述第一光学系统所摄影;上述配线图案是以上述第二光学系统所摄影。8.一种图案检出装置,属于使用由形成有配线图案,且载置具有对准标记的基板的载置台,及摄影上述基板的所定部位的摄影部,及处理来自上述摄影部的影像信号的信号处理部,及记忆影像资料的记忆部,及藉由上述摄影部可摄影被载置于上述载置台的上述基板的所定部位地调节视野范围的控制部所构成的图案检出装置,其特征为具有:上述摄影部是摄影成为藉由上述摄影部所摄影的基准的第一对准标记与须测定的基板的第二对准标记,同时在上述记忆部登录上述被摄影的第一对准标记的大略整体的对准标记与上述被摄影的第一对准标记的至少一部分的对准标记;上述信号处理部,是具有从上述被摄影的第二对准标记,依据上述被登录的第一对准标记的大略整体的对准标记与上述被摄影的第一对准标记的至少一部分的对准标记的任一对准标记,检出上述第二对准标记的位置的功能。9.如申请专利范围第8项所述的图案检出装置,其中,调节上述视野范围的控制部是移动上述基准的基板,上述摄影部是具有摄影与成为上述基准的第一对准标记不相同位置的第三对准标记的功能;将上述被摄影的第三对准标记的大略整体的对准标记与上述被摄影的第三对准标记的至少一部分的对准标记登录于上述记忆部。10.如申请专利范围第9项所述的图案检出装置,其中上述摄影部具有摄影与上述须测定的基板的第二对准标记不相同位置的第四对准标记的功能;上述信号处理部是具有从上述第四对准标记,依据被登录于上述记录部的第三对准标记的大略整体的对准标记与上述被摄影的第三对准标记的至少一部分的对准标记,检出上述第四对准标记的位置的功能。11.如申请专利范围第10所述的图案检出装置,其中,上述信号处理部是具有依据上述第二与第四对准标记的位置测定结果,运算上述须测定的基板的偏置与倾斜,同时依据上述偏置与倾斜来修正上述须测定的基板的位置座标的功能。12.如申请专利范围第8项所述的图案检出装置,其中,从上述被摄影的第二对准标记,依据上述被登录的第一对准标记的大略整体的对准标记与上述被摄影的第一对准标记的至少一部的对准标记的任一对准标记,在检查上述第二对准标记的位置的时,在上述第一对准标记的任一对准标记也未检出上述第二对准标记时,上述信号处理部是输出误差资讯。13.如申请专利范围第8项所述的图案检出装置,其中,从上述被摄影的第二对准标记,依据上述被登录的第一对准标记的大略整体的对准标记与上述被摄影的第一对准标记的至少一部的对准标记的任一对准标记,检出上述第二对准标记的位置时,上述信号处理部是使用灰色标度图案选配进行图案选配。14.如申请专利范围第8项所述的图案检出装置,其中上述摄影部是又具有不同倍率的第一光学系统与第二光学系统;上述对准标记是以上述第一光学系统所摄影;上述配线图案是以上述第二光学系统所摄影。15.如申请专利范围第8项所述的图案检出装置,其中,上述第二光学系统的倍率大于上述第一光学系统的倍率。图式简单说明:第1A图至第1G图是表示用以说明本发明的一实施例的图式。第2A图至第2F图是表示用以说明本发明的一实施例的图式。第3图是表示线宽度测定装置的构成的一例的方块图。第4图是表示用以说明检查对象物与其内部的位置关系的图式。第5A图至第5F图是表示用以说明对准标记的画像登录方法与画像检出方法的图式。第6A图及第6B图是表示用以说明习知(第6A图)与本发明(第6B图)的对准标记的认识范围的不同的图式。第7图是表示本发明的位置认识方法的一实施例的处理的流程图。第8图是表示在线宽度测定装置中,对于习知的线宽度测定方法的图式。第9图是表示藉由第8图的线宽度测定所得到的资料的图式。 |
