发明名称 | 热处理用的器皿和纵向型热处理装置 | ||
摘要 | 本实用新型提供了一种热处理用的器皿,其特征在于,它具有下列各部分:许多根支柱;在上述各支柱上沿着高度方向隔开规定的间隔形成的许多爪部;通过上述爪部,安装在上述许多根支柱上的许多格上,具有能装载被处理物体的装载面的许多支承板;设置在上述被处理物体的装载面上的沟槽,以及设置在上述沟槽内的许多通孔。按照本实用新型,由于在被处理物体的装载面上设置了沟槽,并且在沟槽内设有许多通孔,因而能阻止在支承板的被处理物体装载面与被处理物体之间形成了一层空气层,以及被处理物体的粘附。借助于这种结构,即使在高温热处理时,也能够阻止被处理物体因粘附而发生滑移。 | ||
申请公布号 | CN2684373Y | 申请公布日期 | 2005.03.09 |
申请号 | CN02292606.2 | 申请日期 | 2002.12.27 |
申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 入江伸次;酒井裕史 |
分类号 | H01L21/324;H01L21/22 | 主分类号 | H01L21/324 |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 温大鹏;杨松龄 |
主权项 | 1.一种热处理用的器皿,其特征在于,它具有下列各部分:许多根支柱;在上述各支柱上沿着高度方向隔开规定的间隔形成的许多爪部;通过上述爪部,多级地安装在上述许多根支柱间的具有能装载被处理物体的装载面的许多支承板;设置在上述被处理物体的装载面上的沟槽;以及设置在上述沟槽内的许多通孔。 | ||
地址 | 日本东京都 |