玻璃基板内缺陷的深度方向位置检测方法

摘要

本发明的目的是在使摄影机的焦点面从玻璃基板的表面向内部移动的同时，基于被拍摄的缺陷的图像正确计算出缺陷的深度方向位置，以获得微细的缺陷的鲜明的图像，由此可以正确且立即判断玻璃基板的好坏。使摄影机的焦点面与玻璃基板表面缺陷存在的位置一致，边使焦点从表面向里面侧移动，边拍摄缺陷的图像，使用该图像算出缺陷和背景的边界处的亮度梯度，作为对距离玻璃表面的移动距离的梯度指标GI值计算出，并决定梯度指标GI的最大值相对应的移动距离作为缺陷的深度方向位置。

主权项

1.一种玻璃基板内缺陷的深度方向位置的检测方法，使用摄影机检测玻璃基板内缺陷的深度方向位置，其特征在于，具有以下步骤：第1步骤，使上述摄影机的焦点面与上述缺陷位于的上述玻璃基板的一个面一致；第2步骤，使上述摄影机的焦点面从上述玻璃基板的一个面向另一个面移动一定距离量；第3步骤，用使上述焦点面移动了一定距离的上述摄影机拍摄上述缺陷；第4步骤，使用由上述摄影机拍摄的图像，计算缺陷和背景的边界的亮度梯度，并计算与上述摄影机的焦点面从上述玻璃基板的表面移动的距离相对应的梯度指标GI的值；第5步骤，对上述摄影机的焦点面从上述玻璃基板的表面移动的距离和上述玻璃基板的厚度进行比较；以及第6步骤，在上述第5步骤，当上述摄影机的焦点面距离上述玻璃基板表面的移动距离大于上述玻璃基板的厚度时，将与上述梯度指标GI的值之中的最大值相对应的上述摄影机的焦点面距离上述玻璃基板表面的移动距离，决定为缺陷的深度方向位置。