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发明名称 Copper compound and method for producing copper thin film using the same
摘要
申请公布号 EP1496061(A3) 申请公布日期 2005.01.26
申请号 EP20040015238 申请日期 2004.06.29
申请人 MEC COMPANY LTD. 发明人 OTANI, MINORU;HISADA, JUN;MAWATARI, TOYOKI
分类号 C07F1/08;C07F1/00;C23C18/08;H05K3/40;(IPC1-7):C07F1/00;C23C16/00 主分类号 C07F1/08
代理机构 代理人
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