液滴吐出装置、印刷装置、印刷方法及光电装置

摘要

喷墨装置等的液滴吐出装置中，进行高精确度的液滴吐出。令液滴从吐出头朝向基板的目标位置吐出，同时，将该当液滴正确前进轨道，以圆筒状雷射光包围。藉此，从吐出头所吐出的液滴的行进路线即使偏离所定的轨道，液滴也会被雷射光弹回，而能着弹于基板上的目标位置。