| 发明名称 |
Projektions-Belichtungsgerät |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19502827(B4) |
申请公布日期 |
2004.07.08 |
| 申请号 |
DE19951002827 |
申请日期 |
1995.01.30 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
KAMON, KAZUYA |
| 分类号 |
G02B17/06;G02B27/46;G02B27/58;G03B27/32;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20;G02B27/18;G03B27/70 |
主分类号 |
G02B17/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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