| 发明名称 |
METHOD FOR CONTROLLING PLASMA PROCESSOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1009199(A4) |
申请公布日期 |
2004.06.30 |
| 申请号 |
EP19980936736 |
申请日期 |
1998.08.11 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
NAGASEKI, KAZUYA;YAMAZAKI, HIROKI |
| 分类号 |
H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
