发明名称
摘要
申请公布号 JP3521218(B2) 申请公布日期 2004.04.19
申请号 JP19970179975 申请日期 1997.07.04
申请人 发明人
分类号 G01N27/62;H01J49/04;H01J49/06;H01J49/10;H01J49/12;(IPC1-7):H01J49/10 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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