| 发明名称 |
Apparatus for cathode sputtering including a shielded rf electrode |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3369991(A) |
申请公布日期 |
1968.02.20 |
| 申请号 |
US19650428733 |
申请日期 |
1965.01.28 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
DAVIDSE PIETER D.;MAISSEL LEON I. |
| 分类号 |
C23C14/28;C23C14/35;H01B3/02;H01J37/34;H01L23/29 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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