发明名称 | 溅射装置及其电极和该电极的制造方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种溅射装置及其电极和该电极的制造方法。该电极为旋转式磁控管套磁控管型(RMIM)电极。RMIM电极包括:磁体单元,包括位于的柱形磁体和多个围绕柱形磁体的环形磁体;以及驱动单元,支承和离轴旋转磁体单元。在磁体单元中,相邻磁体有相反的磁化方向,具有小直径的环形磁体位于具有大直径的环形磁体内侧。 | ||
申请公布号 | CN1445811A | 申请公布日期 | 2003.10.01 |
申请号 | CN03128660.7 | 申请日期 | 2003.03.14 |
申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 申在光;金圣九;朴荣奎;严显镒 |
分类号 | H01J23/02;H01J9/02 | 主分类号 | H01J23/02 |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李晓舒;魏晓刚 |
主权项 | 1.一种旋转式磁控管套磁控管型(RMIM)电极,包括:磁体单元,其包括位于中央的柱形磁体和多个围绕柱形磁体的环形磁体;以及驱动单元,其支承和离轴旋转磁体单元,其中,在磁体单元中,相邻磁体有相反的磁化方向,且具有小直径的环形磁体位于具有大直径的环形磁体内。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |