发明名称 Method for thinning and polishing the die of integrated circuits
摘要
申请公布号 AU2002255691(A1) 申请公布日期 2002.09.24
申请号 AU20020255691 申请日期 2002.03.11
申请人 SCHLUMBERGER TECHNOLOGIES, INC. 发明人 CHUN-CHENG TSAO;JOHN VALLIANT
分类号 B24B1/00;B24B7/22;B24B37/04;B24B49/12;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
地址