高速行波光调制器

摘要

一种高速行波光调制器,由电极、上限制层、波导层、重掺杂层、下限制层、半绝缘衬底构成,特征是所述电极是双Z型的中心对称电极,把波导层两侧的外延层分别改设成台面,在台面上涂绝缘感光层来隔离电极与重掺杂层。本实用新型由重掺杂层、波导层及台面一起实现了速度匹配及阻抗匹配,使带宽达到40GHz以上;由于重掺杂层有接地电极的作用,能有效的限制电场,提高电场与光场的交迭,从而降低了半波驱动电压;电极简单对称,制作方便。

主权项

1.一种高速行波光调制器，由电极[8]、上限制层[7]、波导层[6]、重掺杂层[4]、下限制层[3]、半绝缘衬底[1]构成，其特征在于：所述电极[8]为双Z型的中心对称电极，把波导层[6]两侧的外延层分别改设成台面[9]，在台面[9]上布置隔离电极[8]与重掺杂层[4]的绝缘感光层[10]。