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发明名称 Reaktoren zum Behandeln von Substraten
摘要
申请公布号 DE69524841(D1) 申请公布日期 2002.02.07
申请号 DE19956024841 申请日期 1995.10.16
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 DUBOIS, DALE R.;MORRISON, ALAN F.;MARSH, RICHARD A.;CHANG, MEI
分类号 C23C16/44;C23C16/04;C23C16/455;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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