| 摘要 |
<p>본 발명은 칼라 음극선관의 부분품인 판넬글라스의 형광막 불량여부 및 새도 마스크의 이물 혼입이나 구멍막힘 등과 같은 불량여부를 판넬글라스와 펀넬글라스를 결합하지 않고도 초기공정에서 R.G.B 전자빔으로 주사하여 완성품 칼라 음극선관과 같은 환경을 조성하여 신속하면서 간편하게 칼라 음극선관의 불량여부를 검사할 수 있게 한 것으로, 고진공실과 중진공실로 분리되는 진공챔버와, 진공챔버의 상부면에 안치되는 판넬글라스의 진공을 유지하는 고무패킹과, R.G.B 전자빔을 방출하는 전자총과, R.G.B 전자빔을 편향 주사시키는 편향코일과, 전자총과 편향코일 및 R.G.B 전자빔을 제어하는 제어기와, 중진공실의 중진공을 달성하는 중진공 배기장치와, 고진공실의 (초)고진공을 달성하는 고진공 배기장치와, 진공이 해제되기 전에 고진공실과 중진공실을 완전 격리시켜 전자총을 보호하는 게이트 밸브와, 편향코일의 높낮이를 미세하게 조정할 수 있는 승강장치로 구성하고, 격리판에는 R.G.B 전자빔이 방출되는 미세한 크기의 빔 방출구로 컨덕턴스를 최소화시켜 고진공실의 진공도를 1×10Torr 정도로 지속 유지할 수 있게 함으로써 진공배기 시간을 획기적으로 줄일 수 있도록 하고, 편향코일은 진공챔버의 내부 또는 외부에 설치하여 R.G.B 전자빔이 정상적으로 회절할 수 있도록 하고, 편향코일을 진공챔버의 내부에 설치하는 경우 편향코일 전체를 진공 에폭시 수지 등으로 몰딩시켜 공기분자 및 가스 방출량이 거의 없도록 함으로써 진공챔버의 진공도를 크게 향상시키고, 몰딩 된 편향코일의 안쪽 표면에는 도전피막을 형성한 다음 진공챔버와 전기적으로 연결하여 정전편향 및 주위 전계영향을 차단하여 60초 ~ 120초 이내의 짧은 시간에 판넬글라스의 형광막과 노광불량 및 새도 마스크의 불량여부를 100% 검사할 수 있으므로 생산성이 크게 향상될 뿐 아니라 전(前)공정에서 발생한 불량을 후(後)공정으로 이동하기 전에 미리 색출하여 재가공(교정)할 수 있어서 칼라 음극선관의 검사시간(제조시간)과 제조원가를 획기적으로 줄일 수 있도록 한 것이다.</p> |
