| 发明名称 |
A SUBSTRATE CLEANING METHOD AND A SUBSTRATE CLEANING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG80557(A1) |
申请公布日期 |
2001.05.22 |
| 申请号 |
SG19960010822 |
申请日期 |
1996.10.10 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
YUJI KAMIKAWA;NAOKI SHINDO |
| 分类号 |
B08B11/02;B08B3/04;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/304;H01L21/68 |
主分类号 |
B08B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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