发明名称
摘要
申请公布号 JP3108460(B2) 申请公布日期 2000.11.13
申请号 JP19910103694 申请日期 1991.02.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/22;C30B33/00;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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