| 摘要 |
<p>본 고안은 에칭작업을 위해 웨이퍼를 스테이지상에 고정시키기 위한 클램프에 관련한 것으로서, 보다 상세하게는 클램프내에 냉각수가 흐를 수 있도록 유로 또는 중공부를 형성하여 클램프를 지속적으로 냉각시켜줌에 따라 클램프가 과열되므로 인한 웨이퍼의 손상을 방지토록 한 웨이퍼 클램프의 냉각장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 고안은 웨이퍼의 에칭공정시 웨이퍼를 스테이지 상에 고정시키기 위한 클램프를 갖춘것에 있어서; 상기 클램프(20)의 일측과 타측에는 유입구(22)와 유출구(23)를 각각 형성하고, 클램프(20) 내에는 상기 유입구(22)와 유출구(23)를 연결하는 유로(21)를 형성하여, 상기 유로(21) 내에 냉각수가 흐르도록 함에 따라 클램프(20)가 가열되는 것을 방지토록 한 것이다.</p> |
