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发明名称 SEALING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100240262(B1) 申请公布日期 2000.01.15
申请号 KR19920002580 申请日期 1992.02.20
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 SEKIZUKA, HIROSHI
分类号 C23C16/44;F16J15/00;F27D7/06;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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