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发明名称 Aetz- oder Beschichtungsanlagen
摘要
申请公布号 DE59109166(D1) 申请公布日期 1999.12.09
申请号 DE19915009166 申请日期 1991.05.24
申请人 BALZERS AG, BALZERS 发明人 WELLERDIECK, KLAUS DR.
分类号 H01J37/16;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 H01J37/16
代理机构 代理人
主权项
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