抛光片磨损的在线监测

摘要

本发明涉及一种在化学机械抛光过程中使用在线传感器测量抛光片的抛光设备和方法。由测量数据可识别出抛光片是否已经磨损坏了或是否不均匀磨损,并更换抛光片。按照即时的测量数据而不是按照统计预期方法来安排检修,可将检修的停机时间降到最低,并避免使用已经磨损坏了或是不均匀磨损的抛光片。新设计的抛光设备可延长抛光片使用寿命以及增加抛光效能。本发明的一个实施方案包括一个无触点式传感器,例如激光传感器。

主权项

1．一种抛光设备，包括：一个为了在抛光过程中转动而活动安装的抛光片；一个安装的传感器，当抛光片安装在抛光设备上、处于传感器目标区域内，测量到抛光片的部分的距离；以及一台与传感器相匹配的分析仪，其中，该分析仪可根据距离测量值而确定抛光设备是否应当执行操作工序。