发明名称 METHOD OF MANUFACTURING TRENCH
摘要
申请公布号 KR100205436(B1) 申请公布日期 1999.07.01
申请号 KR19910002389 申请日期 1991.02.13
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 LEE, BYUNG-IL
分类号 H01L21/70;(IPC1-7):H01L21/70 主分类号 H01L21/70
代理机构 代理人
主权项
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