| 发明名称 |
PRODUCTION OF CERAMIC/METAL-COMPOUNDED SPUTTERING TARGET MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10158825(A) |
申请公布日期 |
1998.06.16 |
| 申请号 |
JP19960321816 |
申请日期 |
1996.12.02 |
| 申请人 |
SANYO SPECIAL STEEL CO LTD |
发明人 |
OKAWA ATSUSHI;AIKAWA YOSHIKAZU;YANAGIYA AKIHIKO |
| 分类号 |
B22F1/02;B22F3/14;C22C1/05;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
B22F1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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