发明名称 ION IMPLANTATION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR0114868(Y1) 申请公布日期 1998.04.16
申请号 KR19940020047U 申请日期 1994.08.09
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 NA, KEUM-JOO;SHIN, DONG-SUN
分类号 H01J37/00;(IPC1-7):H01J37/00 主分类号 H01J37/00
代理机构 代理人
主权项
地址