| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MEASURING ION ENERGY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1074481(A) |
申请公布日期 |
1998.03.17 |
| 申请号 |
JP19960248854 |
申请日期 |
1996.08.30 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
ARAKI YOICHI;ONO HIROO;HANADA YUKINORI |
| 分类号 |
G01N27/62;H01J37/04;H01J49/44;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J49/44 |
主分类号 |
G01N27/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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