| 发明名称 |
An ion implanter with post mass selection deceleration |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2307096(A) |
申请公布日期 |
1997.05.14 |
| 申请号 |
GB19960016240 |
申请日期 |
1996.08.01 |
| 申请人 |
* APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
JONATHAN GERALD * ENGLAND;MAJEED * FOAD;STEPHEN * MOFFATT;DAVID GEORGE * ARMOUR |
| 分类号 |
H01J37/30;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
H01J37/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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