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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von mikroelektronischen Schaltungen auf SOI
摘要
申请公布号 DE19536249(A1) 申请公布日期 1997.04.10
申请号 DE19951036249 申请日期 1995.09.28
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 MUELLER, KARL-HEINZ, 84478 WALDKRAIBURG, DE
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L21/8238;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L21/84;H01L27/06;H01L27/092;H01L29/732;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/84 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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