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发明名称 Verfahren zum elektrischen Abscheiden von Resistformulierungen, die Metallsalze von Beta-Diketonen enthalten
摘要
申请公布号 DE69500057(T2) 申请公布日期 1997.03.06
申请号 DE19956000057T 申请日期 1995.02.20
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS & CO., WILMINGTON, DEL., US 发明人 HAMILTON, WILLIAM L., CHESAPEAKE CITY, MARYLAND 21915, US
分类号 C09D5/44;C25D13/06;G03F7/16;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/16;G03F7/033 主分类号 C09D5/44
代理机构 代理人
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