发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08264661(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950067305 申请日期 1995.03.27
申请人 NEC CORP 发明人 ITO TAKATOSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/76;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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