改进的导模法及其设备所用湿尖导模

摘要

EFG生长空心晶体的新颖毛细导模及晶体生长方法。内、外环形迁围绕导模尖部。熔体从坩埚通过通道输送到沟，空心晶体生长过程中，沟中熔体湿润并覆盖内部、外部外侧表面。新颖导模结构有较低的导模尖部和较短毛细槽。可保持围绕导模尖部周边的温度基本均匀，提高导模尖部上生长的管形晶体壁厚的均匀度。该沟可减少因导模被淹没而发生中断或影响晶体生长过程。发生生长弯月面断裂时，该沟截获液态硅，防止或减少发生淹没导模及相关生长设备的现象。

主权项

1.一种用边缘限定薄层供料生长(EFG)法生长选定材料的管形晶体的改进方法，所述方法使用湿尖导模，其具有：(a)用以容纳液态下的所述选定材料供应的内空间；(b)一由具有上端表面、内部和外部外侧表面的模尖的EFG导模；和至少一个用以从所述内空间的供应将液态的选定材料送至所述EFG导模的上端表面的毛细管通道，所述方法包括：由所述的上端表面支撑的所述材料的薄的液态膜生长管形晶体的步骤，连续地通过所述至少一个毛细管通道补充供应所述薄膜以熔体的步骤，其特征在于，还包括在由所述上端表面支撑的所述选定材料的液膜形成所述管形晶体的过程中用液态下的所述选定材料基本上连续地和完整地将所述内部和外部外侧表面湿润的步骤。