发明名称 | 蚀刻闪光灯成象 | ||
摘要 | 本发明涉及一种用闪光灯在工件上制作定型图象的方法,该方法包括将模板紧贴工件并用闪光灯在等于或小于约100μs的短脉冲内发射的辐射经模板照射工件。 | ||
申请公布号 | CN1115875A | 申请公布日期 | 1996.01.31 |
申请号 | CN94120780.3 | 申请日期 | 1994.12.17 |
申请人 | 美国3M公司 | 发明人 | 道格拉斯S·邓恩;杰弗里B·希尔;安德鲁J·乌德柯克 |
分类号 | G03F7/00 | 主分类号 | G03F7/00 |
代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 陈亮 |
主权项 | 1. 一种用闪光灯在工件上制作定形图象的方法,该方法包括:将一模板紧贴工件定位;将闪光灯在约等于或小于100微秒的短脉冲内发射的辐射通过模板导向工件,辐射可从工件上去除碎屑。 | ||
地址 | 美国明尼苏达州 |