发明名称 蚀刻闪光灯成象
摘要 本发明涉及一种用闪光灯在工件上制作定型图象的方法,该方法包括将模板紧贴工件并用闪光灯在等于或小于约100μs的短脉冲内发射的辐射经模板照射工件。
申请公布号 CN1115875A 申请公布日期 1996.01.31
申请号 CN94120780.3 申请日期 1994.12.17
申请人 美国3M公司 发明人 道格拉斯S·邓恩;杰弗里B·希尔;安德鲁J·乌德柯克
分类号 G03F7/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 陈亮
主权项 1. 一种用闪光灯在工件上制作定形图象的方法,该方法包括:将一模板紧贴工件定位;将闪光灯在约等于或小于100微秒的短脉冲内发射的辐射通过模板导向工件,辐射可从工件上去除碎屑。
地址 美国明尼苏达州