切割可变形镜装置(DMD)后之似晶圆处理

摘要

一种处理夹具及制造诸如数位微镜装置之微机械装置的方法，在切割作业及随后的清洁作业时，容许晶圆22上的易碎结构免于碎片。在部分切割晶圆22而产生切口后，晶圆22附在真空夹具26。然后晶圆22的反面研磨到切口24以分离装置32。每一装置32藉着其上之顶部空间的真空而保持在夹具上。另一实施例中，完全切穿晶圆来分离装置且在夹具中。