发明名称 RESIN INJECTION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH06232192(A) 申请公布日期 1994.08.19
申请号 JP19930019844 申请日期 1993.02.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 WATABE HIROMICHI;TATEISHI KEIJI
分类号 H01L21/56;H01L23/28;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
地址