发明名称 SPIN COATER
摘要
申请公布号 JPH04210271(A) 申请公布日期 1992.07.31
申请号 JP19900400992 申请日期 1990.12.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUDA SHOICHI
分类号 B05C11/08;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/312 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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